製品情報

ウェーハマウンター

ウェーハ薄板化工程において、ウェーハを支持基板に貼り合わせる装置のご紹介です。

概要と特徴

ウェーハ薄板化工程(バックグラインド、ポリッシュ)にて、ウェーハを支持基板に貼り合わせる装置のご紹介です。

WAXが塗布されたウェーハを支持基板に貼り合わせ、2種類のスタンプ(エア、セラミック)を用い、真空貼付けで精度確保が可能な装置です。

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