ウェーハ両面ラッピングマシン
- 製品名
- ウェーハ両面ラッピングマシン
概要
本装置は、12インチウェーハ対応の大型量産化対応両面ラッピングマシンです。
上定盤と下定盤がそれぞれ反対方向に回転し、上・下定盤の間にはさまれたキャリアは、自転しながら下定盤の回転方向に公転します。従ってキャリア内の加工物には４方向の運動が与えられます。
特長
・12インチウェーハ対応 ２０枚/1バッチ
両面を同時にラップするよう、上定盤・下定盤及びキャリアの回転比を設定、ラップ速度が速く、高度な加工精度を実現
・下定盤、上定盤、太陽ギヤ、インターナルギヤはそれぞれ別駆動で作動、回転数を変更することで、より最適な加工条件が選定可能
・上定盤はエアシリンダにより自動的に上昇、下降し、加工物にショックを与えることがなくセット、取外しが可能
・無段変速装置を装備し、加工物に適した回転数を選定可能
・上定盤、下定盤の平面度は、修正キャリアにより容易に維持可能
・上定盤吊り具にスプリング機構（特許）を装備し、着盤時の加工物のワレ、カケを防止し、荷重を滑らかに伝達可能
主な仕様
| 定盤 | 上定盤 | φ2145×φ735×t64（mm） |
| □30 溝幅1.5 溝深さ14 （mm） | ||
| 下定盤 | φ2145×φ735×t64（mm） | |
| □40 溝幅1.5 溝深さ13 （mm） | ||
| 定盤材質 | FCD450相当 | |
| 定盤重量 | 約1550（ｋｇ） | |
| キャリア | モジュール | 5 |
| 歯数 | 162T | |
| ピッチ円直径 | φ810mm | |
| 圧力角 | 20° | |
| 仕込枚数 | 5枚 | |
| φ200mmウェーハ | 40枚/1バッチ | |
| φ300ｍｍウェーハ | 20枚/1バッチ | |
| 装置寸法 | 本機 | 3590（W）×2540（D）×3360（H）mm |
| 付属品含む | 3590（W）×3930（D）×3360（H）mm | |
| 装置重量 | 17000kg | |
| 塗装色 | ベース色 | 貴社指定色 |
| 標準色 マンセル2.5Y 9/1白色 | ||
| パネル色 | 貴社指定色（標準色 黒） | |
| 電気設備容量 | 100kVA | |
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圧縮空気使用容量 |
2500（NL/hr） | |
| 下定盤駆動 | モータ | 22kWインバータ制御 |
| 減速機 | ウォーム（1/50） | |
| 下定盤回転数 | 0～45rpm 加工時5～45rpm | |
| 上定盤駆動 | モータ | 11kW インバータ制御 |
| 上定盤回転数 | 0～-22.5rpm 加工時-2.5～22.5rpm | |
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太陽ギヤ駆動 |
減速機付モータ | 3.7kWインバータ制御 |
| 太陽ギヤ回転数 | 0～21rpm 加工時2～21rpm | |
| インターナルギヤ駆動 | 減速機付モータ | 5.5kWインバータ制御 |
| （7.5kWインバータ使用） | ||
| インターナルギヤ回転数 | 0～21rpm 加工時2～20rpm | |
| インターナルギヤ上下動機構 | ストローク | 36mm |
| モータ | 1.5kWブレーキ付 インバータ制御 | |
| 太陽ギヤ上下動機構 | ストローク | 30mm |
| モータ | 0.75kWブレーキ付 インバータ制御 | |
| 圧力計 | タッチパネルに表示 | |
| 2速チュービングポンプ | 2機 | |
| 自動定寸装置 |
加工中のウェーハの厚さを検出し、設定寸法に仕上げる トランザット（ALC） |
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| 付帯装置 |
・修正キャリアリフタ・修正キャリアストッカ・防滴カバー（透明） ・修正キャリア（FC330）4枚/1セット・ブラシキャリア4枚/1セット ・日常メンテナンス工具1セット・工具、工具箱1セット |
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その他
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