ワイヤーソースラリーリサイクルシステム WSRS
- 製品名
- ワイヤーソースラリーリサイクルシステム
- 型式
- WSRS
概要
太陽電池・半導体の製造プロセス中のシリコンインゴットのスライス工程で発生するスラリーから、砥粒とクーラントを回収し、再利用する事で、ランニングコストの大幅低減を実現するシステムです。
特長
砥粒・クーラントの回収再利用によるランニングコストの大幅低減を実現、作業の効率化や、作業環境改善を考えワイヤーソーへのスラリー供給・排出の全自動運転化も対応可能です。 国内外の多くのお客様からご評価頂いてきた経験をもとに、業界最新のリサイクルシステムをご提案致します。
主な仕様
| 処理量 | 3,000～15,000 （L/日） | |
| 寸法 | 13,000(W) × 5,000(H) × 7,000(L) (mm) | |
| 装置重量 | 空時重量 | 約27,000 (kg) |
| 運転重量 | 約47,000 (kg) | |
※寸法・重量は8,000L/日相当です。
※固定砥粒方式への改造もご相談下さい。
| 砥粒回収率 | 80～95％ |
| クーラント回収率 | 60～90％ |
| シリコン除去率 | 30～60％ |
※真空蒸留システム、ろ過システムとの組み合わせ