製品情報

ウェーハ搬送ケース　

製品名	ウェーハ搬送ケース

概要

本製品は、ウェーハ搬送時の衝撃を保護します。

特長

・ウェーハ搬送時の衝撃保護
・コンパクトデザインによる輸送コストの削減
・ウェーハ移載装置対応
・優れた密閉性
・3.5インチデータフロッピーディスク保管可能
・ウェーハ対応サイズ　4”/5”/6”/8”/12”
・スタンダードタイプとスリムタイプ
・リサイクル可能

主な仕様

表面抵抗値：1.0×10の6乗Ω以下
材質：導電性ＰＰ
収納方法：ウェーハをスペーサーとクッションを用いて、コインスタック状に最大２５枚積み重ねプロトスキャリアに梱包します。