製品情報

ウェーハテープマウンター 

製品名 ウェーハテープマウンター

概要

ダイシングテープにウェーハをマウントします。

特長

・厚さ150 um 、反り 5mm までのウェーハに対応した全自動マウンター
・真空チャンバー方式により気泡が無く、貼り付けローラーも小負荷
  → ウェーハにダメージを与えない
・薄厚反りウェーハに対応として、真空チャンバー内でウェーハの反りを矯正保持
・各種テープに対応したテープテンションメモリー機能
・50 um 厚ウェーハ対応オプションとして、カメラ一括アライメント・コインスタッカからの取り出し・前後工程装置とのドッキング可能

主な仕様

 スループット 80枚/h(ご使用条件により異なります)
対応ウェーハサイズ 6インチ、8インチ
使用フレーム 2-6-1  2-8-1
使用テープ幅 6インチ :幅230mm   8インチ :幅300mm
ユーティリティ 電源 AC200V 単相50/60Hz 3.0KVA
空気源 圧力0.5Mpa 300Nl/min
真空源 コンパム使用
装置寸法 1,200(D)×1,646(W)×1,800(H)(mm)
重量 850kg