製品情報
ウェーハテープマウンター
製品名 | ウェーハテープマウンター |
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概要
ダイシングテープにウェーハをマウントします。
特長
・厚さ150 um 、反り 5mm までのウェーハに対応した全自動マウンター
・真空チャンバー方式により気泡が無く、貼り付けローラーも小負荷
→ ウェーハにダメージを与えない
・薄厚反りウェーハに対応として、真空チャンバー内でウェーハの反りを矯正保持
・各種テープに対応したテープテンションメモリー機能
・50 um 厚ウェーハ対応オプションとして、カメラ一括アライメント・コインスタッカからの取り出し・前後工程装置とのドッキング可能
主な仕様
スループット | 80枚/h(ご使用条件により異なります) | |
対応ウェーハサイズ | 6インチ、8インチ | |
使用フレーム | 2-6-1 2-8-1 | |
使用テープ幅 | 6インチ :幅230mm 8インチ :幅300mm | |
ユーティリティ | 電源 | AC200V 単相50/60Hz 3.0KVA |
空気源 | 圧力0.5Mpa 300Nl/min | |
真空源 | コンパム使用 | |
装置寸法 | 1,200(D)×1,646(W)×1,800(H)(mm) | |
重量 | 850kg |