製品情報

ウェーハマウンター 

製品名 ウェーハマウンター
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

・本装置は LD、LED、MMICなどの薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼合せ、カセットに収納する装置です。
・アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応いたします。

対応デバイス
素材:GaAs、InP、サファイア、Si
ウェーハサイズ:2.5,3,4,6,8インチ

特長

・独自の真空貼付方式
・WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能
・塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応

主な仕様

 型式           DMT-150           DMT-200
 バージョン     Type0     Type1     Type0     Type1
 対応サイズ           φ4〜6"           φ6〜8"
 構成   WAX塗布部   WAX塗布部   WAX塗布部   WAX塗布部
  WAXベーク部   WAXベーク部   WAXベーク部   WAXベーク部
  反転貼付部   反転貼付部   反転貼付部   反転貼付部
  ウェーハ   ウェーハ   ウェーハ   ウェーハ
  スタンプ部   スタンプ部   スタンプ部   スタンプ部
  搬送部   搬送部
  ローダー   ローダー
  アンローダー   アンローダー
 オプション   クリーンユニット