概要

本装置は、「高速検査」や「微小欠陥の検出能力」に優れるレーザ式検査装置と、「顕微鏡画像の取得」や「欠陥サイズの判定」に優れる画像式検査装置、それぞれの特長を兼ね備えたハイブリッド型の表面欠陥検査装置です。

特長

• レーザー式で高速全面検査を行い、検出した欠陥部のみを顕微鏡で撮影・解析可能
• レーザー式検査で検出した欠陥のうち、必要な箇所だけを選択して顕微鏡でリアルタイム観察可能
• SiC、GaN、LT、サファイアなどの透明体検査や、SiC/Si、Gan/Siなどの膜検査などに最適

主な仕様