ウェハエッジノッチ測定装置 高精度AFタイプ
- 製品名
- ウェハエッジノッチ測定装置
- 型式
- 高精度AFタイプ
概要
ウェハの端部のロールオフやベベル部分を高精度、高速に計る装置です。
シルエットタイプでは計れないノッチ部の断面形状も測定可能です。
特長
- 高精度測定
- 高速測定
- 鏡面の急斜面も測定可能
- ノッチ部の断面形状も測定可能
主な仕様
| 高精度 | AF再現性 : σ=30nm | ||||||||||||||
| 高さ分解能 | AF分解能 : 10nm | ||||||||||||||
| 高速 | AF最高速度 : 1.6mm/sec ※1 | ||||||||||||||
| 測定可能最大傾斜 | 鏡面の場合 : 水平から65° | ||||||||||||||
| (数10nm以上の表面粗さを持つ表面では更に急斜面の測定が可能) | |||||||||||||||
| 表面、上下ベベル、裏面を2つの光学系で同時に測定 | |||||||||||||||
| 表面粗さに影響を受けないうねり測定が可能 | |||||||||||||||
※1 AF最高速度とはフォーカス方向への移動時間の事であり、測定長さ(xy 方向 の移動速度ではありません。測定長さに付いては取得するポイントの数とピッチによります。
その他
世の中で他には無い高精度、高速なウェハのエッジノッチ形状測定装置です。
鏡面でも急斜面の測定が可能です。
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| ベベル部測定例 | ロールオフ測定例 | ウェハの外周の複数箇所を自動測定 |