ウェハエッジノッチ検査装置
- 製品名
- ウェハエッジノッチ検査装置
概要
ウェハのエッジ(上ベベル・APEX・下ベベル)の検査も可能です。
ノッチ(上ベベル・APEX・下ベベル)の検査も可能です。
特長
- 高精細画像で細かい質感までも映し出します。
- ノッチ部も死角無く検査が可能です。
- C to Cの自動機も作成可能です。
- 形状測定機能や貼り合せズレ測定も兼ね備えた装置の製作も可能です。
主な仕様
| エッジ・ノッチ検査感度 | 明視野 | 5μ | |||||||||||||
| 暗視野 | 1μ | ||||||||||||||
| 検出可能な欠陥 | チッピング、インデント、キズ、汚れ、膜残り、結晶欠陥など | ||||||||||||||
その他
独自の撮像方法で、高精細な画像に定評があります。
