特長

・コンパクトかつ軽量なカメラ観察専用顕微鏡
　金属・樹脂・印刷面・微小な動体など観察対象は様々です。
・YAGレーザ(近赤外・可視・近紫外・紫外)による微細加工に対応※1
　半導体回路のカット・トリミング・修正・マーキング、薄膜(絶縁膜)の除去・加工、液晶カラーフィルタ等のリペア(欠陥修正)などです。
・赤外光学系に対応※2
　シリコン系の内部監察、赤外光による分光特性解析などです。
・反射照明光学系に開口絞り付テレセントリック照明を標準装備
　均一照明を必要とする画像処理に最適です。寸法測定・形状検査・位置決めなどに利用できます。
・VMU-LB及びVMU-L4Bは顕微鏡本体の剛性や総合性能を強化(従来比)
・標準仕様以外にも2カメラ搭載、2種倍率(低倍率・高倍率)などご要望に応じた設計製作が可能
※1：レーザ発振器搭載システムの総合性能及び安全性は保証いたしかねます。
※2：赤外光源や赤外カメラ等が別途必要になります。

主な仕様