製品情報

超高密度大気圧プラズマユニット  Tough Plasma

製品名 超高密度大気圧プラズマユニット
型式 Tough Plasma
メーカー 株式会社FUJI
メーカーロゴ
資料

概要

独自のヘッド構造から生成される高密度ラジカルによって高速処理や長ギャップ照射を実現。
接着、塗装、コーティング前処理、ドライ洗浄等、広く利用されており、お客様の生産性向上に貢献します。

特長

①高い処理能力による高速処理

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超高密度プラズマ処理による劇的なタクト縮小

FUJI独自技術でプラズマ状態をキープしたまま高密度なプラズマ照射を実現しました。

そのため、処理能力はスピードが速いほど薄くなる傾向がありますが、速いスピードで処理を行っても高い効果が期待でき、タクトの短縮が可能です。


②監視機能による品質担保

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異常があればすぐにストップ!処理不足品流出を防げます

あらゆる数値からプラズマ状態を監視し、異常があれば装置を停止させ品質の担保を行うことができます。

監視箇所

・照射ガスの流れ
・プラズマ照射箇所の詰まり
・プラズマ発生時の電流状態
・電力線の断線
*製品によって監視できる範囲は異なります


③低温処理による部材ダメージレス

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熱に弱い材料でも安心!

熱に弱い樹脂材料にも安心して照射頂けるよう、Tough Plasmaは熱の影響が少なくなるように設計しております。

熱可塑性樹脂や薄膜樹脂フィルムへも安心してご利用いただくことができます。

プラズマガス温度について

  • プラズマガス温度はプラズマヘッドを固定し、照射し続けた時のサチュレート温度(最大温度)です
  • 実際に使用する際は、お客様の工程に合わせ数百mm/sの速度で照射しますので、グラフの温度よりも非常に低くなります


主な仕様

  FPF20-GM FPF20-ST FPB20
FPF20-GM.jpg FPF20-ST.jpg FPB20.jpg
先端ノズル 幅広ノズル 20mm,30mm,40mm 20mm 20mm
スポットノズル φ5mm φ5mm φ5mm,φ1.6mm
プロセスガス 流量 窒素:60L/min 窒素:60L/min 窒素:5L/min
エアー:30.6L/min エアー:0.6L/min エアー:20ml/min
電源 AC200V(50/60Hz) AC200V(50/60Hz) AC100V(50/60Hz)
規格認証 MET,CE - -
消費電力 1,800W 1,250W 200W
寸法
(L×W×H)
ヘッド 89×92×230mm 89×80×273mm 60×50×150mm
コントローラー 495×477×1,220mm 405×473×1,220mm 216×381×179mm
質量 ヘッド 1.5kg 1.2kg 0.5kg
コントローラー 110kg 105kg 11.5kg
駆動電源 1.5kg

数多くのアプリケーションに採用

自動車、カテーテル、電子基板など各分野で利用されております

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