製品情報
研究実験用スプレーコーティング装置 rCoater
| 製品名 | 研究実験用スプレーコーティング装置 |
|---|---|
| 型式 | rCoater |
| メーカー | 旭サナック株式会社 |
| メーカーロゴ |  |
| メーカーサイト | メーカー製品サイトはこちら |
| 資料 |
概要
- スプレー方式により、小型基板へのコーティングが実現
- 少量の材料でスプレーコーティングサンプルが製作でき、研究用からサンプル品まで幅広く対応が可能です
特長
1. 卓上小型サイズで、省スペース化に貢献
2. 1μmの膜厚に対して、±5%の精度での仕上げが可能
3. 50nm~数十μmの膜厚範囲に対応可能
4. 凹凸基板に対して、凹凸に沿った均一な成膜が可能
5.スラリー材料の使用時、粒子を凝集させず均一な成膜が可能
塗布材料、塗布条件に最適なノズルや供給装置を組込んだ 研究実験用スプレーコーティング装置を提供いたします。
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| 凹凸に沿った成膜が可能 | 綺麗に分散塗布が可能 |
主な仕様
| 型式 | RC200 |
| 外形寸法 | W861 × D685 × H824mm ※概寸 |
| 最大稼動範囲 | 200mm×200mm |
| 適用ワーク(ステージサイズ) | 100mm×100mm |
| 最大スキャン速度 | 36m/min |
| ノズル数量 | 1個 |
| 本体総重量 | 90kg ※rCoater本体ユニット、ミストカバーユニット、排気ユニット |
その他
本装置は、非防爆仕様です。
ノズル・供給装置については、こちらをご参照ください。
ご紹介動画
（動画提供）旭サナック株式会社 様