製品情報

RCA洗浄装置 

製品名 RCA洗浄装置

概要

酸やアルカリでの洗浄や、剥離液でのレジスト剥離します。

特長

・枚葉洗浄やバッチ式洗浄と、用途に合わせて対応可能
・薬液でのサンプルテスト対応可能
・MEMSメーカーや、ウェーハメーカーなど幅広い実績あり