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半導体ベアウェーハ
洗浄
ＲＣＡ洗浄装置
ＲＣＡ洗浄装置
製品名
ＲＣＡ洗浄装置
概要
酸やアルカリでの洗浄や、剥離液でのレジスト剥離します。
特長
・枚葉洗浄やバッチ式洗浄と、用途に合わせて対応可能
・薬液でのサンプルテスト対応可能
・ＭＥＭＳメーカーや、ウェーハメーカーなど幅広い実績あり
