概要

本製品は、エキシマランプを使用し表面改質、洗浄、親水化、接着/密着性向上、表面活性
結晶化、硬化処理を行う装置です。エムディエキシマランプは照射面に電極を持たない構造で、
光をさえぎり、透過や反射の損失が少なく照射効率が高いのが特徴です。

特長

1)　高いエネルギー
2)　単一波長、高効率
　　　放射が一つの波長に集中し、必要な光以外がほとんど放射されないので効率が高い
3)　低温処理
　　　余分な光が放射されないのでワークの温度を低く保つことが出来る
4)　瞬時点灯・消灯が可能
　　　瞬時の点灯が可能である。実際の点灯時間が短く、長寿命化が可能。

主な仕様

その他

FPD製造—TFTアレイ工程/カラーフィルター工程/フォトマスク洗浄等
半導体製造（洗浄・キュア）—Low-Kキュア/洗浄/光CVD等
レジストアッシング及びレジスト残渣のアッシング
フィルム基板・プラスチック基板の洗浄/酸化膜の生成
金属表面の洗浄、改質
HDD洗浄
繊維の改質
有機ELの仕事関数アップ
ガラス・フィルムの張り合わせ
ゴム・プラスチック等さまざまな素材の表面改質（密着性・接着性の向上）
ポリシラザン等を利用した、ガスバリアフィルム及びハードコート膜の大気圧下での生成