製品情報

検査リペア装置 BPIR-3000

製品名 検査リペア装置
型式 BPIR-3000
メーカー 株式会社ニッケ機械製作所
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概要

本装置はハンダボール搭載後のハンダボール整列状態を検査し不具合箇所を自動リペア処理する検査・ハンダボールリペア装置です。本装置1台で自動検査&自動リペアが可能です。

特長

■1. 各主要駆動部はサーボモーターにて制御され、高精度の位置決めを行います。
■2. 条件設定はモニターから設定・操作でき、品種切り替えがスムーズに行えます。
■3. ウエハーの位置決めは2~3点アライメントを行い(XYθの補正)正確な位置認識を行います。
■4. 複数カメラを配置し検査・最終位置決め、ボール搭載後チェックを行います。
■5. 画像処理は多値化制御を採用しており高精度のアライメントが可能です。
■6. ウエハーは真空吸着方式にてテーブルに保持します。

主な仕様

■ウエハーサイズ:~φ300mm
■ウエハー位置認識:2~3点アライメント方式
■ウエハー搬送方法:吸着ハンドによる搬送
■検査カメラ視野:□40mm
■リペア部カメラ視野:0.8×0.6mm