自転式スピンドライヤ OKVシリーズ
- 製品名
- 自転式スピンドライヤ
- 型式
- OKVシリーズ
概要
スピンドライヤーとは、回転による遠心力と吸引される気流の作用によりウエハ上の水滴及び水分を乾燥させる装置です。
特長
カセット１つ投入可能なOKVシリーズはコンパクトながら、オプションでリンス機能や熱乾燥を行うHOT-N2機能を搭載可能。
また、1枚~25枚までランダムに投入してもウエハの割れやパーティクルの原因となる振動を生じさせることなく回転させることが可能です。
主な仕様
6インチベースのOKV6はMAX3000回転まで、
8インチベースのOKV8は2500回転まで設定を行うことが可能。
レシピも1STEP～8STEPのなかでリンスor乾燥のプロセスを設定でき、それぞれ回転数や時間の設定が可能。