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MEMSゲージ圧センサー

製品名
MEMSゲージ圧センサー
メーカー
オムロン株式会社

概要

超小型で低消費電力のピエゾ抵抗式MEMSゲージ圧センサー


特長

長さ6.1mm×幅4.7mm×高さ8.2mmの超小型。

容量式圧力センサに比べ、優れた電気的特性。

測定圧力範囲:0~37kPa。

 オフセット電圧:-2.5±4mV

 スパン電圧:31.0±3.1mV

  • 0.2mWの低消費電力。
  • 温度影響が小さい。

 スパン電圧:±1.0 %F.S.

 オフセット電圧:±3.0%F.S.


主な仕様

ゲージ圧_主な仕様.jpg

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