概要

超小型で低消費電力のピエゾ抵抗式MEMSゲージ圧センサー

特長

長さ6.1mm×幅4.7mm×高さ8.2mmの超小型。

容量式圧力センサに比べ、優れた電気的特性。

測定圧力範囲：0～37kPa。

　オフセット電圧：－2.5±4mV

　スパン電圧：31.0±3.1mV

• 0.2mWの低消費電力。
• 温度影響が小さい。

　スパン電圧：±1.0 %F.S.

　オフセット電圧：±3.0%F.S.

主な仕様