製品情報

洗浄

洗浄は7件あります。

小径ウエハー両面スクラブ洗浄機 DSC-100CV、DSC-200CV

ダイトロン株式会社

小径ウエハー両面スクラブ洗浄機

【ウエハー薄板化および薄基板工程流動をサポート】 小径ウェハーの研磨後洗浄等を目的とした装置です。 ウェハーをコンベアにより両面スクラブ機構部に搬送し、ウエハ...

異方性エッチング装置(KOH・TMAH) 

異方性エッチング装置(KOH・TMAH)

Si基板(1.0.0)を、KOHで垂直に深堀します。

ウェーハ裏面ブラシ洗浄機 

ウェーハ裏面ブラシ洗浄機

ウェーハの裏面をブラシで洗浄し、リンス〜スピン乾燥する手動洗浄機です。ウェーハをチャック治具にセットした後、洗浄ブラシがウェーハ裏面を洗浄し、リンス後、乾燥処理...

WET装置 

WET装置

ウェーハの拡散前洗浄、シリコン酸化膜・窒化膜エッチング、 レジスト剥離などの処理を行うウェットステーションシリーズを提供しています。 カスタマー対応できます。

高照度エキシマランプ 

高照度エキシマランプ

172μmの高い光エネルギー(真空紫外光)で改質し、親水性・接着性・濡れ性を向上します。

自動洗浄装置・各種ドラフト 

自動洗浄装置・各種ドラフト

基板の洗浄を純水や洗剤を使用して行います。

RCA洗浄装置 

RCA洗浄装置

酸やアルカリでの洗浄や、剥離液でのレジスト剥離します。

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