製品情報

成膜・ドライ

成膜・ドライは1件あります。

アッシング装置(レジスト残渣) 

アッシング装置(レジスト残渣)

【プラズマエッチング装置】 ハードモード・ソフトモードの切り換えで、異方性エッチング及び等方性エッチング(※)を実現します。 広域ターボポンプを使用している為、...

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