製品情報

ウェーハ片面研磨機 SPM−23

製品名 ウェーハ片面研磨機
型式 SPM−23

概要

大口径、量産化対応片面ポリッシングマシンです。ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度且つ高能率にポリッシングします。 φ8ウェーハの高精度、高能率ポリッシングに効果を発揮します。ターンテーブルは0〜50rpmまで無段階にダイヤル一つで変則可能です。

特長

・ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度且つ高能率にポリッシング
・φ8"ウェーハの高精度、高能率ポリッシングに効果を発揮
ターンテーブルは0〜50rpmまで無段階にダイヤル一つで変則可能
・クッションスタート装置を装備し、ウェーハにダメージなし
・研磨荷重は、デッドウエイト方式の為4軸間の荷重変動なし(5%以内)
・ベースプレートは本体フレーム前面一ヶ所より搬入・搬出・脱着可能、作業者の動作範囲も小さく、省スペース
・搬送アームを取付けることにより、ベースプレートの自動搬送、自動化対応の推進可能

主な仕様

 研磨荷重方式  デットウエイト方式(中押しタイプ)
 ウエイト  材質  Pb、SUS
 最大荷重kg/軸  470(120+250+100)

 面積荷重

 (max g.?)

 φ6" 8枚 :333

 φ8" 5枚 :299

 定盤  定盤サイズ  φ1,400×36t(mm)
 定盤材質  SUS410熱処理品
 定盤回転数  0~50rpm
 設定スピード  ローディングスピード(3~5rpm)
 ウオーターポリッシングスピード(15~50rpm)
 ポリッシングスピード(15~50rpm)
 ブラッシングスピード(15~50rpm)
 ※ソフトスタート付
 トップリング  軸数  4軸
 材質  SUS304
 トップリングサイズ  φ570×95t(mm)
 トップリング重量  約120kg/1軸
 トップリング回転方式

 ターンテーブル追従+センターローター

 による強制駆動方式

 トップリングシール方式  外周O-リング(φ10)によるシール方式
 中押し方式  ロータリージョイント+φ100特殊シリンダー
 プレート  使用プレートサイズ  φ570×20(mm)
 材質  セラミックス
 重量  約19.3kg/枚
 駆動関係  ・定盤駆動モーター  インバーター使用 インダクションモーター
 30kW AC200V 60Hz
 スロースタート、スローダウン付
 ・定盤駆動用減速機  ウォーム減速機 1/30

 ・トップリング上下動

  シリンダー

 φ160×400st(mm)両ロッドタイプ(特注品)

 ・ガイドローラー上下動

  シリンダー

 φ40×15st(mm)

 ・センターローラー強制駆動

  及び減速機

  (インダクションモーターは

  減速機直結)

 制御はインバーター方式
 回転数:0~60rpm
 冷却水関係  定盤冷却

 ソレノイドバルブにて開閉

 (入口ストップバルブ付)

 内容積  約11リットル
 流量計  2.5~25リットル/min デジタルフローメーター

 スラリー

 システム

 

1次 仕上げ
 方式

 スラリーポンプによる

 循環供給方式

 定量ポンプによる

 カケ捨て供給方式

 タンク容量  100リットル  50リットル
 スラリー吐出量  max.20リットル/min  max.3.3リットル/min

 スラリー吐出

 ポンプ

 マグネットポンプ

 MD-100R,AC200V,3P

 定量ポンプ

 ローラーポンプ

 ※スラリーセパレーター 2ヶ所切換方式

 ユーティリティ  電気  本機:電圧AC200V±10%,3P,60Hz
 圧縮空気

 圧力:5~7kg/㎠

 使用容量:200NL/min以上

 冷却水及び純水

 ・リンス&シャワー
  水質:純水
  使用容量:10リットル/min以上
 ・定盤冷却水
  水質:市水(水アカの無いもの)
  使用容量:10リットル/min以上
 廃液口  取合い:ODφ50
 排気  φ150SUS口金付
 その他  機械寸法

 2,550(D)×1,800(W)×2,770(H) MAX

 (ショウマウント40含み)(mm)

 機械重量  約11,000kg
 色  客先指定色
 安全対策

 研磨スタート時及び終了時の安全ソフトスタート

 付なので、ウェーハにダメージをあたえることは

 ありません。

 パッド面温度情報対策…定盤クーラント機構

 付、冷却水量調節により一定温度に保ちます。

 トップリング上昇限に対する安全…トップリング

 上昇限のみマニュアルメカロック機構付