ウェーハ片面研磨機 ＳＰＭ−２３
| 製品名 | ウェーハ片面研磨機 |
|---|---|
| 型式 | ＳＰＭ−２３ |
概要
大口径、量産化対応片面ポリッシングマシンです。ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度且つ高能率にポリッシングします。 φ8ウェーハの高精度、高能率ポリッシングに効果を発揮します。ターンテーブルは0〜50rpmまで無段階にダイヤル一つで変則可能です。
特長
・ベースプレートに装着したシリコンウェーハ等を、高精度且つ高能率にポリッシング
・φ8"ウェーハの高精度、高能率ポリッシングに効果を発揮
・ターンテーブルは0〜50rpmまで無段階にダイヤル一つで変則可能
・クッションスタート装置を装備し、ウェーハにダメージなし
・研磨荷重は、デッドウエイト方式の為4軸間の荷重変動なし（5%以内）
・ベースプレートは本体フレーム前面一ヶ所より搬入・搬出・脱着可能、作業者の動作範囲も小さく、省スペース
・搬送アームを取付けることにより、ベースプレートの自動搬送、自動化対応の推進可能
主な仕様
| 研磨荷重方式 | デットウエイト方式（中押しタイプ） | |||||||||||||||||||
| ウエイト | 材質 | Pb､SUS | ||||||||||||||||||
| 最大荷重kg/軸 | 470（120+250+100） | |||||||||||||||||||
|
面積荷重 （max g.?） |
φ6" 8枚 ：333 φ8" 5枚 ：299 |
|||||||||||||||||||
| 定盤 | 定盤サイズ | φ1,400×36t（mm） | ||||||||||||||||||
| 定盤材質 | SUS410熱処理品 | |||||||||||||||||||
| 定盤回転数 | 0~50rpm | |||||||||||||||||||
| 設定スピード | ローディングスピード（3~5rpm） | |||||||||||||||||||
| ウオーターポリッシングスピード（15~50rpm） | ||||||||||||||||||||
| ポリッシングスピード（15~50rpm） | ||||||||||||||||||||
| ブラッシングスピード（15~50rpm） | ||||||||||||||||||||
| ※ソフトスタート付 | ||||||||||||||||||||
| トップリング | 軸数 | 4軸 | ||||||||||||||||||
| 材質 | SUS304 | |||||||||||||||||||
| トップリングサイズ | φ570×95t（mm） | |||||||||||||||||||
| トップリング重量 | 約120kg/1軸 | |||||||||||||||||||
| トップリング回転方式 |
ターンテーブル追従+センターローター による強制駆動方式 |
|||||||||||||||||||
| トップリングシール方式 | 外周Ｏ-リング（φ10）によるシール方式 | |||||||||||||||||||
| 中押し方式 | ロータリージョイント+φ100特殊シリンダー | |||||||||||||||||||
| プレート | 使用プレートサイズ | φ570×20（mm） | ||||||||||||||||||
| 材質 | セラミックス | |||||||||||||||||||
| 重量 | 約19.3kg/枚 | |||||||||||||||||||
| 駆動関係 | ・定盤駆動モーター | インバーター使用 インダクションモーター | ||||||||||||||||||
| 30kW AC200V 60Hz | ||||||||||||||||||||
| スロースタート、スローダウン付 | ||||||||||||||||||||
| ・定盤駆動用減速機 | ウォーム減速機 1/30 | |||||||||||||||||||
|
・トップリング上下動 シリンダー |
φ160×400st（mm）両ロッドタイプ（特注品） | |||||||||||||||||||
|
・ガイドローラー上下動 シリンダー |
φ40×15st（mm） |
|||||||||||||||||||
|
・センターローラー強制駆動 及び減速機 （インダクションモーターは 減速機直結） |
制御はインバーター方式 | |||||||||||||||||||
| 回転数：0~60rpm | ||||||||||||||||||||
| 冷却水関係 | 定盤冷却 |
ソレノイドバルブにて開閉 （入口ストップバルブ付） |
||||||||||||||||||
| 内容積 | 約11リットル | |||||||||||||||||||
| 流量計 | 2.5~25リットル/min デジタルフローメーター | |||||||||||||||||||
|
スラリー システム |
|
|||||||||||||||||||
| ユーティリティ | 電気 | 本機：電圧AC200V±10%,3P,60Hz | ||||||||||||||||||
| 圧縮空気 |
圧力：5~7kg/㎠ 使用容量：200NL/min以上 |
|||||||||||||||||||
| 冷却水及び純水 |
・リンス＆シャワー | |||||||||||||||||||
| 水質：純水 | ||||||||||||||||||||
| 使用容量：10リットル/min以上 | ||||||||||||||||||||
| ・定盤冷却水 | ||||||||||||||||||||
| 水質：市水（水アカの無いもの） | ||||||||||||||||||||
| 使用容量：10リットル/min以上 | ||||||||||||||||||||
| 廃液口 | 取合い：ODφ50 | |||||||||||||||||||
| 排気 | φ150SUS口金付 | |||||||||||||||||||
| その他 | 機械寸法 |
2,550（D）×1,800（W）×2,770（H） MAX （ショウマウント40含み）（mm） |
||||||||||||||||||
| 機械重量 | 約11,000kg | |||||||||||||||||||
| 色 | 客先指定色 | |||||||||||||||||||
| 安全対策 |
研磨スタート時及び終了時の安全ソフトスタート 付なので、ウェーハにダメージをあたえることは ありません。 |
|||||||||||||||||||
|
パッド面温度情報対策…定盤クーラント機構 付、冷却水量調節により一定温度に保ちます。 |
||||||||||||||||||||
|
トップリング上昇限に対する安全…トップリング 上昇限のみマニュアルメカロック機構付 |
||||||||||||||||||||