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大口径高精細産業用変倍レンズ Rayfact 1-2倍 変倍 L-OVM20117MN

製品名
大口径高精細産業用変倍レンズ Rayfact 1-2倍 変倍
型式
L-OVM20117MN
メーカー
株式会社ニコン
メーカーロゴ

概要

  • 画素数の多いラインセンサーカメラによる検査
  • フラットパネルディスプレイ基板の微細パターン検査
  • プリント基板などの微細パターン検査
  • 半導体ウェハなどの微細パターン検査

特長

  • 1本のレンズで-1倍~-2倍までフローティング可能(Rayfact 1-2倍)
  • 1本のレンズで-2倍~-5倍までフローティング可能(Rayfact 2-5倍)
  • 物体側へのプリズム配置を想定した光学最適化タイプも準備(同軸落射:厚み25mm)(Rayfact 1-2倍、Rayfact 2-5倍)
  • 同軸落射用プリズムユニット(厚み:25mm)取り扱いあり
  • イメージサークルΦ86.4mm、高解像大型ラインセンサーカメラ対応
    大型ラインセンサー:3.5μm x 23K / 5μm x 16K 対応(Rayfact 1-2倍)
    大型ラインセンサー:5μm x 16K / 5.2μm x 12K 対応(Rayfact 2-5倍)
  • 使用倍率範囲内での性能差が少なく、倍率全域において性能を確保
  • 絞りロックねじ、フローティングリングのロックねじを装備
  • 絞り・フローティング機構を外部駆動にて操作できるように、絞りリング・フローティングリングにギアを搭載