製品情報

超高密度大気圧プラズマユニット FPB20/FPC20/FPA10

製品名 超高密度大気圧プラズマユニット
型式 FPB20/FPC20/FPA10

概要

超高密度ラジカルで、樹脂・ガラス・金属など様々な材料の表面改質や洗浄を効率よく行ないます。

特長

�@高い処理能力
  反応性の高いラジカル粒子を高密度に生成するので、高速に処理でき、生産性の向上に寄与
  します。

�A電気的に中性、低温処理/高効率処理
  ・電気的に中性なラジカル粒子のみを照射するため、ワークに電気的なダメージを与えません。
  ・照射ガス温度が低いため、耐熱性能の低い材料に使用しても熱による影響を与えません。
   (FPA/FPB)
  ・高出力照射により、高効率な処理が可能です。(FPC)

�B各種ノズル
  ・標準スリットタイプ以外に、スポットタイプや、小径の先細タイプのノズルもご用意しています。

�C評価試験
  各種設備を有し、ユーザーワークの評価を行うことも可能です。

主な仕様

型式 FPB20 FPC20 FPA10
タイプ N2標準タイプ N2ハイパワータイプ N2Arタイプ
照射幅(※1) (mm) 20 20 12
プロセスガス 種類 N2+Air N2+Air Ar+O2
流量 (L・mm) 5 5 2.5
電源 (V) AC100(50Hz/60Hz) AC100(50Hz)/AC100(60Hz) AC100(50Hz)/AC100(60Hz)
消費電力 (W) 200 335 335
ヘッド寸法 (mm) W60×H150×D50 W69×H195.7×D63.8 W69×H195.7×D46
コントローラー寸法
(mm)
W215.2×H178.6×D380.2 W23×H295×D385 W230×H295×D385
ヘッド質量(※2) (Kg) 0.5 1.0 1.0
コントローラー、
駆動電源質量
(Kg) 13 22 22

(※1) プラズマ有効照射幅は処理条件によって異なります。
(※2) ケーブル質量を含みません。