製品情報

フィルム貼付機 

製品名 フィルム貼付機

概要

真空チャンバー内でウェハ表面にフィルムを貼り付けます。

特長

・真空チャンバー内で フィルムを 貼り付け
・ウェーハに対しカット径の任意設定が可能
・ノーテンション貼り付け
・多彩なフィルムの貼り付けが可能