製品情報

エッチング装置　

製品名 エッチング装置

概要

Ｓｉ、Ａｌなどの膜をエッチングします 。

特長

・豊富なバリエーション（実験研究・小ロット生産・カスタマイズ）
・高速追従性（電子整合方式による高品位プラズマ制御）
　 →　素子へのチャージアップダメージの低減が可能
・拡張性（Max3チャンバー、様々なプラズマソース搭載可能)
・省フットプリント（600×1,500mm）