製品情報
ウェーハ両面研磨機 ＬＰＤ−３００
| 製品名 | ウェーハ両面研磨機 |
|---|---|
| 型式 | ＬＰＤ−３００ |
概要
φ12・φ8ウェーハの高集積対応、小型・省スペース型両面ポリッシングマシンです。作業効率を考慮し3方面オープンのフレーム構造を採用しています。作業盤を見やすい高さ位置に配し、操作性を向上させています。
特長
・φ12"・φ8"ウェーハの高集積対応、小型・省スペース型両面ポリッシングマシン
・作業効率を考慮し3方面オープンのフレーム構造を採用
・作業盤を見やすい高さ位置に配し、操作性を向上
・上定盤の回転安定、荷重の低重心化の為、旋回機能付カイドローラーを設置
・上下定盤はそれぞれCW，CCWに加工キャリアはCCWに回転
・研磨剤供給システム、50Lタンク（冷却パイプ・加熱用ヒーター付）スラリーセパレーター仕様による循環使用可能
主な仕様
| 本体 | 型式 | 小円運動方式（加工キャリア） |
| 外形寸法 |
1,600（W）2,100（D）×3,300（H） 搬入間口 2,000（W）×3,000（H） |
|
| 重量 | 7,300kg | |
| 塗装色 | 客先指定色 | |
| 電気設備容量 | 40KVA（AC200V,3P） | |
| 供給圧力 | 空気：0.5（Mpa）以上 | |
| 純水：0.1（Mpa）以上 | ||
| 供給接続口 | 空気：Rｃ1/2 | |
| 純水：Rｃ1/2 | ||
| 本体各部 | ||
| 定盤 | 上定盤 | φ1010×φ190×50t（mm） |
| 下定盤 | φ1010×φ190×50t（mm） | |
| 材質 | SUS410 | |
| キャリア | 材質 | FRP（EG） |
| 加工枚数 |
φ12" |
5枚/バッチ（最大） |
| φ8" |
12枚/バッチ（最大） |
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| 駆動系 | モーター容量 | 上下定盤15kW（インバータ制御） |
| キャリア3.5kW（サーボモーター制御） | ||
| 回転数 | 上下定盤：0〜50rpm | |
| キャリア：0〜50rpm | ||
| 付属品 | ハンドシャワー | 1式 |
| シーズニングキャリア | 1式 | |
| ブラシキャリア | 1式 | |
| メンテンス工具 | 1式 | |
| スラリータンク 50リットル | 1式 | |