製品情報
ウエハーマウンター DMT-150、DMT-200

製品名 | ウエハーマウンター |
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型式 | DMT-150、DMT-200 |
メーカー | ダイトロン株式会社 |
メーカーロゴ | ![]() |
概要
【ウエハー薄板化および薄基板工程流動をサポート】
本装置はLD、LED、MMICなどの薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼り合わせ、カセットに収納します。
アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応いたします。
【対応デバイス】
素材:GaAs、InP、サファイア、Si / ウエハサイズ:2.5,3,4,6,8インチ
特長
- 独自の真空貼付方式。
- WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能。
- 塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応。
主な仕様
型式 | DMT-150 | DMT-200 | ||
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バージョン | Type0 | Type1 | Type0 | Type1 |
対応サイズ | φ4〜6″ | φ6〜8″ | ||
構成 | WAX塗布部 | WAX塗布部 | WAX塗布部 | WAX塗布部 |
WAXベーク部 | WAXベーク部 | WAXベーク部 | WAXベーク部 | |
反転貼付部 | 反転貼付部 | 反転貼付部 | 反転貼付部 | |
ウェハー | ウェハー | ウェハー | ウェハー | |
スタンプ部 | スタンプ部 | スタンプ部 | スタンプ部 | |
搬送部 | 搬送部 | |||
ローダー | ローダー | |||
アンローダー | アンローダー | |||
オプション | クリーンユニット |