製品情報

ウエハーマウンター DMT-150、DMT-200

製品名 ウエハーマウンター
型式 DMT-150、DMT-200
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

【ウエハー薄板化および薄基板工程流動をサポート】

本装置はLD、LED、MMICなどの薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼り合わせ、カセットに収納します。

アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応いたします。

【対応デバイス】

素材:GaAs、InP、サファイア、Si / ウエハサイズ:2.5,3,4,6,8インチ

特長

  • 独自の真空貼付方式。
  • WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能。
  • 塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応。

主な仕様

型式 DMT-150 DMT-200
バージョン Type0 Type1 Type0 Type1
対応サイズ φ4〜6″ φ6〜8″
構成 WAX塗布部 WAX塗布部 WAX塗布部 WAX塗布部
WAXベーク部 WAXベーク部 WAXベーク部 WAXベーク部
反転貼付部 反転貼付部 反転貼付部 反転貼付部
ウェハー ウェハー ウェハー ウェハー
スタンプ部 スタンプ部 スタンプ部 スタンプ部
搬送部 搬送部
ローダー ローダー
アンローダー アンローダー
オプション クリーンユニット