製品情報

高精度ウェーハ面取機 CVP-320

製品名 高精度ウェーハ面取機
型式 CVP-320
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

ASスライスウェーハの端面をレジンボンド砥石の同一砥石にて、T,R形状に研削できる画期的な面取機です。又、デバイスウェーハにおいてはBG前に端面加工することにより、BG後のウェーハ割れ低減に効果があります。研削部2軸タイプです。

特長

・研削部2軸タイプ
・外周精研削にツインコンタリング研削方式を採用することにより、従来機に比べ加工精度が向上し、加工時間が短縮されます。
・ウェーハ形状測定器を搭載することが可能で、加工後の断面形状を測定し、加工データにフィードバック補正する事が可能です。