製品情報

ウェーハ面取機(コンタリングマシン) CVP-211B、CVP-80

製品名 ウェーハ面取機(コンタリングマシン)
型式 CVP-211B、CVP-80
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

メタル砥石を水平方向、レジン砥石を縦方向、ウェーハは水平に回転させながら高精度に加工する研削機です。

【対象装置型式】

・CVP-211B(右)

・CVP-80(左)

特長

  • 外周精研削にレジンボンド砥石を使用。従来までの総型メタルボンド砥石を使用した面取り機と比較して下記の点で優れています。
  • 面取り形状変更に伴う砥石の変更、段取り時間の軽減(1種類の砥石での研削が可能)。また、砥石を品種ごとに在庫する必要がありません。(砥石管理の簡素化)
  • 特殊形状の研削が可能。(面幅非対称の研削が可能)
  • 研削面の仕上げ粗さが向上。適正番手のレジンボンド砥石を用いることにより、メタルボンド砥石を使用した場合と比べて表面粗さがよく、チッピング・クラックを最小限にすることが可能です。

主な仕様

型式項目 CVP-80 CVP-211B
ウェーハ仕様 OF(CF)/ ノッチ
ウェーハサイズ φ2"~8"(選択) φ2"~8"(選択)
ローディング/アンローディング なし 4カセット
厚さ測定ユニット なし

多点測定or中心1点測定

(選択,オプション)

ファインアライメント仕様 ウェーハ端面接触式

ウェーハ端面接触方式/

非接触方式(選択)

研削部軸数 1軸
スピンドル仕様

1)外周粗研削用(横型研削):φ100mmメタルボンド砥石(オプション)

2)外周精研削用(縦型研削):φ50mmレジンボンド砥石

1)外周粗研削用(横型研削):φ100mmメタルボンド砥石(オプション)

2)外周精研削1用(縦型研削):φ60mmレジンボンド砥石

3)外周精研削2用(縦型研削):φ60mmレジンボンド砥石(オプション)

4)ノッチ研削用(横型研削):メタルボンド砥石(オプション)

洗浄部 なし ○(外周研磨,2流体洗浄,高圧ジェット搭載可能)(オプション)
直径測定 なし