製品情報
高精度ウェーハ面取機 CVP-3000

製品名 | 高精度ウェーハ面取機 |
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型式 | CVP-3000 |
メーカー | ダイトロン株式会社 |
メーカーロゴ | ![]() |
概要
ASスライスウェーハの端面をレジンボンド砥石の同一砥石にて、T,R形状に研削できる画期的な面取機です。又、デバイスウェーハにおいてはBG前に端面加工することにより、BG後のウェーハ割れ低減に効果があります。研削部2軸タイプです。
特長
・研削部2軸タイプ
・外周精研削にツインコンタリング研削方式を採用することにより、従来機に比べ加工精度が向上し、加工時間が短縮されます。
・ウェーハ形状測定器を搭載することが可能で、加工後の断面形状を測定し、加工データにフィードバック補正する事が可能です。