コーターデベロッパー

・本装置は、GaAs,GaP,サファイア等のウェーハを枚葉スピン方式にて、レジストのコーティング、エッチング、洗浄を行う装置です。
・自動機、手動機の取り扱いがございます。

・異物・パーティクルの除去効率向上
・歩留まりの向上
・プロセスの変更が容易
・少量多品種の生産
・省フットプリント
・研究開発に最適
・様々な物理的。化学的な処理方法との組み合わせ可能
・レトロフィット接続により機能強化が容易