スプレー塗布装置

微細な凹凸の形状にも、均一にレジストを塗布する為の装置です。
ノズルを交換することにより粒子をコントロールします。　
ノズル先端の乾燥を防止する機構を持ちます。
ノズルは、スピードとピッチを設定の上、XY方向に稼働します。