製品情報

ブレーキング装置 フルオート機 

製品名 ブレーキング装置 フルオート機
メーカー ダイトロン株式会社
メーカーロゴ

概要

【ダイトロンブレーキング装置、フルオートタイプ】

本装置はスクライブが完了したLD、LED用半導体基板やバー状チップをあらかじめ登録された条件に基づきブレードで自動ブレーキング(クリービング)します。

【対応デバイス】素材:GaAs、InP、サファイア、Si

ウエハサイズ/型式:3・4インチ/DBM-403R

ウエハサイズ/型式:6インチ/DBM-603R

※ご要望により、8・12インチ対応いたします。

特長

パラメータを設定するだけで、カセットからステージへのリングをセット、位置合わせ、ブレークまでを自動で行います。