製品情報
ブレーキング装置 フルオート機

製品名 | ブレーキング装置 フルオート機 |
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メーカー | ダイトロン株式会社 |
メーカーロゴ | ![]() |
概要
【ダイトロンブレーキング装置、フルオートタイプ】
本装置はスクライブが完了したLD、LED用半導体基板やバー状チップをあらかじめ登録された条件に基づきブレードで自動ブレーキング(クリービング)します。
【対応デバイス】素材:GaAs、InP、サファイア、Si
ウエハサイズ/型式:3・4インチ/DBM-403R
ウエハサイズ/型式:6インチ/DBM-603R
※ご要望により、8・12インチ対応いたします。
特長
パラメータを設定するだけで、カセットからステージへのリングをセット、位置合わせ、ブレークまでを自動で行います。