製品情報

全自動テープ剥離装置　ATRM-2300

製品名	全自動テープ剥離装置
型式	ATRM-2300

概要

ATRM-2300はウエーハ上の保護テープを全自動で剥離する装置です。

■ウエーハ裏面研削済極薄ウエーハ、TAIKO研削済ウエーハにも対応可能。
■オリジナルのベルヌイハンドを使用した特殊搬送にも対応。
■UV（紫外線硬化型）テープ使用時は、UV照射ユニットの追加も可能。
■剥離テープの消費量を抑えた省ランニングコスト設計。

■ウエーハサイズ：4・5・6・8インチ対応。
■ウエーハ厚みｔ150μm以下、反り5㎜以上にも対応【要相談】

※12インチ対応フルオート機もラインナップ。