製品情報

全自動ウエハーマウンター　ATM-8100S

製品名 全自動ウエハーマウンター
型式 ATM-8100S

概要

ATM-8100Sはダイシングの前工程として、全自動でダイシングテープへウエーハをマウントする装置です。

特長

■ウエーハを真空下で貼り付ける為、気泡の混入が有りません。　 また、低荷重での貼付方式の為、ウエーハにダメージを与えません。
■特殊ハンドリングシステム、反り矯正機構により極薄・反りウエーハにも対応可能です。

主な仕様

■ウエーハサイズ：4・5・6・8インチ対応。
■ウエーハ厚みｔ150μm以下、反り5㎜以上にも対応【要相談】
■ダイシングテープはロールタイプ・プリカットタイプに対応可能。
■BG保護テープ剥離対応、TAIKOウエーハ対応、プロトスキャリア対応、IDリーダー/バーコードシステムなど、多彩なオプション対応。

その他

　 ※12インチ対応フルオート機もラインナップ。