- シリコン・化合物ウェーハ材料
シリコン・化合物ウェーハ材料（ＣＰＵ・メモリー・パワーデバイス・ＭＥＭＳ用基板材料）製造向けの
各種装置・システム・サービスの紹介です。
| インゴット加工 |  |
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全自動円筒ＯＦ溝入機 |
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内周刃式インゴット切断機 |
| ウェーハ加工 | |
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ウェーハ面取機 |
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小径ウェーハラップ・研磨機 | ||
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精密成形平面研削盤 | ||
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ウェーハ枚葉研磨機（バックポリッシャー） | ||
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ウェーハ枚葉研磨装置 | ||
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ウェーハ両面ラッピングマシン | ||
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ウェーハ片面研磨機 | ||
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ウェーハ両面研磨機 | ||
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高精度ウェーハ面取機 | ||
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スピン洗浄機 |
| ウェーハ検査 | |
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ウェーハ用平坦度検査装置 |
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ウェーハ面検査装置 | ||
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ディフェクト・レヴュー装置 | ||
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300mmFOUP OPENING TOOL | ||
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シリコンウェーハエッジ検査装置 |
ダイトエレクトロン株式会社 事業推進部
