製品詳細

洗浄 取扱製品一覧

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RCA洗浄装置 
  
酸やアルカリでの洗浄や、剥離液でのレジスト剥離します。
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自動洗浄装置・各種ドラフト 
  
基板の洗浄を純水や洗剤を使用して行います。
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超臨界洗浄乾燥装置 
  
MEMSデバイスの洗浄乾燥の場合、従来からの洗浄乾燥方法ではリンス液の表面張力によって近接したパターンの倒壊や、構造部の変形・破壊が避けられないものがあります。超臨界洗浄乾燥装置は、表面張力が発生しない超臨界CO2による洗浄・乾燥を行います。小型の研究開発機からフルオート機まで対応し、新型機では処理時間を3..
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ダイトエレクトロン株式会社 事業推進部

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