製品詳細

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GaAsFETエージング装置　
ダイトロンテクノロジー
本装置は、専用の評価用基板にGaAsFETがボンディングされた物を対象に、エージング試験を行います。
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SiCパワーデバイスエージング装置　
ダイトロンテクノロジー
本装置は、専用の評価基板にSiCFETがボンディングされたものを対象に、エージング試験を行います。
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ウェーハＩＤリーダー・ソーター　
ダイトエレクトロン
150㎜ / 200mmｳｪｰﾊの枚葉移載とアライメントおよびＩＤ認識を行うシステムです。
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ウェーハ顕微鏡検査ステーション　
ダイトエレクトロン
本装置は小型・デスクトップ型の顕微鏡検査ステーション装置です。 ローダーキャリアに収納されているウェーハを自動で 1 枚ずつ取り出し検査ステージに搬送し、顕微鏡によるポイント観察検査、判定によりアンローダーキャリアに分類収納が可能です。
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ウェーハ非接触顕微鏡検査　
ダイトエレクトロン
・エッジハンドリングによるウェーハのマクロ・ミクロ検査装置です。 ・ウェーハ表面に接触する事無く、「ウェーハ裏面の顕微鏡検査」も可能です。
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ウェーハ外観検査装置　
　　
本装置は、Siウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。
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自動洗浄装置・各種ドラフト　
　　
基板の洗浄を純水や洗剤を使用して行います。
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クリーン機器　
　　
弊社では、様々なクリーン機器を取り扱っております。以下製品詳細についてはこちらからご覧ください。【掲載製品】　・ＨＥＰＡフィルターユニット 　・エアシャワー 　・クリーンブース 　・サーマルクリーンチャンバー 　・クリーンベンチ 　・フラットベンチ
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イオナイザー　MODEL：4100V
　　
フレキシブルＡＣ方式でイオンを発生し周波数切替により搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電可能です。またマイコン制御でイオンバランスをオートコントロールします。
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ＷＥＴ装置　
　　
ウェーハの拡散前洗浄、シリコン酸化膜・窒化膜エッチング、 レジスト剥離などの処理を行うウェットステーションシリーズを提供しています。 カスタマー対応できます。
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瞬低保護装置　
　　
瞬時電圧低下と瞬時電圧断を保護します。
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製品にする関するお問合せ

ダイトエレクトロン株式会社　事業推進部

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〒532-0003　大阪府大阪市淀川区宮原4-6-11