パワーデバイス製造装置｜フォトリソ工程｜製品情報｜Daitron[ダイトエレクトロン株式会社]

枚葉式リフトオフ装置
ダイトロンテクノロジー
	・本装置はウェーハを１枚ずつ薬液に浸漬させ、レジストを膨潤、及び付着金属を剥離させます。・その後、リンス、置換、高圧スピン洗浄及び乾燥を行いカセットに収納します。・２槽並列処理を行うことでタクトタイムを向上させています。

パルスプラズマCVD装置
神港精機
	ドライコーティングで撥水（はっすい）性・親水性を創る装置です。

エピウェーハ厚さ測定機

	エピ膜付シリコンウェーハの厚さを非接触で多点の厚さ測定ができます。 ※対象ウェーハ　：　φ200、φ300エピ膜付シリコンウェーハ

ウェーハ露光装置（アライナー）

	ウェーハ上のレジストを（表面／裏面）露光します。（ ※対象ワーク　：　φ200mmのSiウェーハ）