製品詳細

プレート接着・剥離 取扱製品一覧

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マウント装置(接着機) 
  
本装置はカセットより取り出したウェーハを自動かつ枚葉で、WAXを塗布してから加熱したプレートに貼付け、その後冷却プレスを行います。
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デマウント装置(剥離機) 
  
・プレート上に接着されたウェーハをポリッシュ後、剥ぎ取ったウェーハをカセットに収納する為に開発された装置です。・プレートをテーブル上にセットし、ウェーハをナイフ等で剥ぎ取りますとウェーハはシューターを滑り落ちて自動的にカセットに収納されます。
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ダイトエレクトロン株式会社 事業推進部

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