サファイアウェーハ製造装置｜プレート接着・剥離｜製品情報

マウント装置（接着機）

	本装置はカセットより取り出したウェーハを自動かつ枚葉で、ＷＡＸを塗布してから加熱したプレートに貼付け、その後冷却プレスを行います。

デマウント装置（剥離機）

	・プレート上に接着されたウェーハをポリッシュ後、剥ぎ取ったウェーハをカセットに収納する為に開発された装置です。・プレートをテーブル上にセットし、ウェーハをナイフ等で剥ぎ取りますとウェーハはシューターを滑り落ちて自動的にカセットに収納されます。