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恒温恒湿チャンバー 
  
・ワーク周辺環境を安定させ、精密加工、精密測定精度を向上させることが可能です。
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ロールエージングストッカー 
  
本製品は、ロールを一定時間、一定温度でストックします。
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全自動式超低湿ドライボックス McDRY
  
McDry(マックドライ)の防湿管理でリフロー時のICパッケージ、LED等のマイクロクラックをゼロとします。
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静電気可視化システム MSES1000
  
従来の静電気測定システムは、検出用センサーが1個である為、フィルム、プリント基板等、平面上のどの位置で静電気が帯電しているかの特定が困難でした。本製品は、8個のセンサーで帯電部分を素早<特定する為、平面に静電気検出センサーを複数個並べ静電気が帯電している部分を視覚で確認できる様にしました。 軽量かつ小..
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光触媒脱臭装置 
  
本製品は、多孔質セラミックを酸化チタンでコーティングしたものを脱臭装置に搭載しています。常に特性波長の光(紫外線380nm以下)をセラミックに照射することで空気がセラミックを通過すると同時に脱臭、浄化処理をします。
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各種排水処理設備 
  
さまざまな排水に対して排水処理システム及びリサイクルシステムなど、お客様の環境に合わせた最適な処理システムをご提案致します。
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サーマルクリーンチャンバー 
  
豊富な技術と経験により、温度、湿度制御機能付きの設計製作を多数行っています。 お客様の設備に合わせた清浄度、外形寸法、ケミカル汚染対策、温度分布精度保証、データ通信、海外仕様等、あらゆる特殊対応品についても、ご要望にお応えします。詳細はクリーン機器情報特設サイトをご覧ください。>>>情報特設サ..
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耐薬品性 作業台・ワークステーション Your Fit
  
様々な作業空間に適したワークステーションです。
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レチクルストッカー 
  
・大量保管と集中保管を可能にした、スタンダードタイプです。・レチクル/マスクサイズを選ぶことなく、定位置検索を一括管理を行います。・設置場所に応じて、ストッカーサイズのカスタマイズが可能です。
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DRYルーム 
西部技研
本製品は、空気中から水分を除去し、超低露点環境を作る装置です。研究開発段階から生産段階への移行をスムーズにかつ低コストで行うことが可能です。
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小型純水製造装置 TW-N Series
野村マイクロサイエンス 株式会社
本装置は、市水中の不純物を取り除き、簡単に純水、超純水を供給するパッケ ージ型装置です。 複雑な設定が不要で、設置後すぐに利用できます。 オーダータイプの装置に比べ、短工期、低価格、省スペースなど、あらゆる面でコストパフォーマンスに優れています。半導体を始め、FPD(フラットパネルディスプレイ)基板や、電..
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ワイヤーソースラリーリサイクルシステム WSRS
  
太陽電池・半導体の製造プロセス中のシリコンインゴットのスライス工程で発生するスラリーから、砥粒とクーラントを回収し、再利用する事で、ランニングコストの大幅低減を実現するシステムです。
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MO・CVD用除外装置 
  
MO-CVDから排出されるガスを安定的に除去する装置です。H2及びNH3 ガスの高効率的に除去(排水場でのT-N濃度低下及び悪臭問題解決)出来ます。NH3ヒーター式で水を使わない環境に優しい装置です。
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超純水帯電防止装置 
  
各種静電障害を防止します。 ※ 各種静電 とは、 半導体製造のダイシング工程やFPD製造の高圧洗浄工程における各種静電気
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瞬低保護装置 
  
本装置は、瞬時電圧低下と瞬時電圧断を保護します。
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イオナイザー MODEL:4100V
  
フレキシブルAC方式でイオンを発生し周波数切替により搬送中などの近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電可能です。またマイコン制御でイオンバランスをオートコントロールします。
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クリーンジェットガン MODEL:307R
  
ガラス基板やディスク上に静電気で付着した塵埃を 0.01μフィルターで濾過した イオンジェットにより除去します。 また広範囲の静電気を瞬時に除去する用途に最適です。
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ペン型イオナイザー MODEL:3080S
  
シリコンウェハやガラスマスク等の表面に静電気により付着した微細ダストを迅速に除去します。
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DC式イオン送風器 MODEL:1900
  
本装置は、マイコン制御式オートコントロールイオナイザー超薄型、小型設計による省スペース化を実現しました。 装置内などの狭い場所への設置に適したコンパクト構造です。LED表示により自身の動作状態や、クリーニング時期、アラーム警告が一目で判断できます。放電針清掃ブラシの搭載により、メンテナンスがより簡素に..
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静電気除去装置 
  
・本装置は、HDC-AC搭載、高圧電源内蔵型の静電気除去装置です。・HDC-AC技術により、除電性能の長期安定、長期清掃不要を実現しました。・除電時間、大きさ、ともに従来品比30%の向上を実現しました。
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品名 メーカー名 全体

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