製品詳細

測定 取扱製品一覧

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コロニーカウンター 
  
本製品は、瞬時に高精度にコロニー数を計測する、自動計測コロニーカウンターです。本製品の計測精度は、国内最高峰の評価を頂き、デモにおいても抜群の計測精度と高い評価を頂いております。開発、生産は全て日本国内で行っており、カスタマイズ、アフターサービスも万全です。
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LEDプローバー 
ダイトロン 装置事業
高速タイプのチッププローバーウェーハにパルス電流を印可し、電流・電圧・光出力を測定するとともに、LEDからの光をファイバーで分光器まで導き、スペクトル・色度を測定する全自動テスターです。
ダイトロンオリジナル   詳細を見る
表面・裏面重ね合せ精度測定装置 
  
表面・裏面のアライメントマーク位置のズレを検出します。
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ライフタイム測定装置 LTA Series
  
本製品は、極薄SOI/エピ/バルクウェーハやポリシリコン層の汚染・欠陥評価に威力を発揮します。ライフタイムは、試料に混入した汚染や結晶欠陥等を鋭敏に反映する重要なパラメータです。 
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ボウ・ワープ測定装置 SBW Series
  
・本製品はウェーハのボウ・ワープを高速・高精度で測定します。・SBWシリーズは、スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュなど、あらゆるウェーハ加工プロセスで生じたボウ・ワープやGBIRを、高速・高精度に測定します。
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無地表面欠点検査装置 
  
従来の検査装置よりも分解能、検査速度、検査精度を大幅に進化させると共に、微細化検査にも対応可能な検査装置です。連続的に流れる無地ウェブの生産効率をアップし、コスト削減に貢献致します。微細な欠点に対して高精細な検査が可能な構成を加え、豊富な商品構成で安定した検査が可能です。
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寸法検査装置 
  
本装置は、電極シートの間欠塗工品や、ストライプ塗工品に対して、独自のアーキテクチュアにより塗工部欠点と未塗工部欠点を同時に1台の超高速ラインセンサーで検査を行います。さらに、塗工部および未塗工部のパターン寸法計測(塗工エッジの立ち上がり、整列度合い、レジスター長など)も同時に実現する、高機能・高速か..
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変換効率分布測定機 
  
セル生産の様々な工程における非破壊、及び非接触での検査・測定 短絡電流密度の効率分布測定による変換効率の高いエリア、低いエリアの識別
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卓上型変換効率分布測定機 
  
・セル生産の様々な工程における非破壊、及び非接触での検査・測定・短絡電流密度の効率分布測定による変換効率の高いエリア、低いエリアの識別・6インチ以下のあらゆる太陽電池セルの測定
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膜厚測定装置 
  
・サンプルサイズ 880 × 680mm までの大型ワークピースが高精度で自動測定できます。・サンプルのロード / アンロードできるオプションも用意されています。
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膜厚分布検査装置 
  
膜厚分布測定装置は最大150万点の膜厚分布を短時間に測定できる装置です。イメージング分光器ImSpector(インスペクター)を用いて、測定対象表面の薄膜の分光スペクトルを「面」として、一度に測定し、画素ごとのスペクトルを独自アルゴリズムにより解析して、膜厚の分布を高解像度かつ高精度に測定します。 測定モードは、..
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MEMSウェーハ厚み・段差測定機 
  
本装置は、Si段差加工されたMEMS用Siウェーハの厚さ及び、Si段差部の各種測定を非接触、自動で行う装置です。
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エピウェーハ厚さ測定機 
  
エピ膜付シリコンウェーハの厚さを非接触で 多点の厚さ測定ができます。 ※対象ウェーハ : φ200、φ300エピ膜付シリコンウェーハ
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平坦度測定器 
  
本装置は、サンプルの反り、平坦度を、デジタル計測します。
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ウェーハ用平坦度検査装置 
  
本装置は、縦型回転・エッジグリップタイプのφ300㎜ウエーハ用平坦度検査装置です。エッジエクスクルージョンの最小は1㎜、カセット・to・カセットによる高精度な自動測定が可能です。評価項目はSEMIの規格に準じています。
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BG後ウェーハ厚み測定装置 
  
バックグラインダー後のウェーハを非接触で多点の厚さ測定をします。 ※対象ウェーハ : φ200、φ300BG後のシリコンウェーハ
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画像検査装置 
  
本装置は、LCD Panel 製造工程のSeal 剤塗布後に、Seal 剤Line の断線の検出と幅の計測を行い、断線位置の座標と断線の長さを、またあらかじめ指定された任意の箇所のSeal剤幅および塗布位置ズレ量を出力する、In-line想定検査装置です。
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ロール溝検査装置 
  
ワイヤ切断機のメインローラー溝形状検査とワイヤ実装ローラーの溝検査機です。ローラーに検査機を載せ、溝形状プロファイルの高精度カメラ表示と形状の画像測定検査ができます。
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シート抵抗測定検査装置 
  
LED用ウェハーに対し、シート抵抗/抵抗率を測定する装置です。手動タイプから全自動タイプまでラインナップしております。センサーは、接触式/非接触式の両タイプラインナップしております。(4探針方式・渦電流方式)
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複合検査装置 
  
・本測定機は、高精度・高分解能・優れた安定性を有する接触式微細形状測定機をベースに、白色干渉式検出器、レーザーオートフォーカス式検出器を一体化しました。 3種の測定方式のデータ互換性を重視した次世代型の測定機です。さらに、一台の装置に一体化したことで、コンパクトになり、かつワークの異種法による測定が段..
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品名 メーカー名 全体

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