製品詳細

洗浄 取扱製品一覧

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R to R エキシマUV照射装置 
  
本製品は、エキシマランプを使用し表面改質、洗浄、親水化、接着/密着性向上、表面活性結晶化、硬化処理を行う装置です。エムディエキシマランプは照射面に電極を持たない構造で、光をさえぎり、透過や反射の損失が少なく照射効率が高いのが特徴です。
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サーボ制御 超音波プラスチック溶着機 
  
米国特許を保有する世界初の最新鋭サーボ加圧制御による超音波プラスチック溶着機は、空圧制御に比較して多くの利点を持ち、超音波プラスチック溶着技術を飛躍的に向上させております。
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ウェーハ裏面ブラシ洗浄機 
  
ウェーハの裏面をブラシで洗浄し、リンス~スピン乾燥する手動洗浄機です。ウェーハをチャック治具にセットした後、洗浄ブラシがウェーハ裏面を洗浄し、リンス後、乾燥処理までを行います。ウェーハのチャック治具はウェーハの表面には接触せず、裏面洗浄時、洗浄液がウェーハ表面側に回り込む事もありません。洗浄後、ウェ..
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ウェーハジェットスクラバー WJS-150B/200B/300B
ダイトロン 装置事業
・純水のみで高速洗浄します。
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オートマチックウェーハスクラバー AWS-200
ダイトロン 装置事業
WJS-150の洗浄機構に搬送ロボットを加えた自動ウェーハ洗浄機です。 ローダーカセットに収納されたウェーハを下段より一枚づつ搬送用ロボットにて取り出し、ウェーハ表面をリンス洗浄、ブラシ洗浄、及び高圧ジェット洗浄し、高速スピンで乾燥させ、アンローダーカセットの上段に収納する全自動洗浄機です。
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ウェーハジェットスクラバー 
ダイトロン 装置事業
小型ウェーハ(ウェーハ単体、ウェーハリング)を洗浄します。
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小径ウェーハ両面スクラブ洗浄機 
ダイトロン 装置事業
ウェーハ薄板化および薄基板工程流動をサポート小径ウェーハの研磨後洗浄等を目的とした装置です。ウェーハをコンベアにより両面スクラブ機構部に搬送し、ウェーハを回転させながら両面ブラシ洗浄を行います。純水リンスを経てアンローダーにて水没収納されます。 対応デバイス素材:サファイア,Si,LT,LNウェーハサイズ:2..
ダイトロンオリジナル   詳細を見る
ロール to ロール 洗浄装置 
  
有機EL照明に使用される、ITO膜付きフィルム材のロールtoロール洗浄装置です。本装置は、粗洗浄から仕上げ洗浄後、乾燥し製品を巻取る装置です。
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超臨界洗浄乾燥装置 
  
MEMSデバイスの洗浄乾燥の場合、従来からの洗浄乾燥方法ではリンス液の表面張力によって近接したパターンの倒壊や、構造部の変形・破壊が避けられないものがあります。超臨界洗浄乾燥装置は、表面張力が発生しない超臨界CO2による洗浄・乾燥を行います。小型の研究開発機からフルオート機まで対応し、新型機では処理時間を3..
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ドライクリーナ(非接触) UVU-W
  
本装置は、非接触片面洗浄タイプのドライクリーナです。プレッシャ部とバキューム部が一体構造となっており、プレッシャ部に超音波発生器を内蔵した、従来の非接触ドライクリーナの限界を超えた高性能ドライクリーナです。ドライ洗浄方式のクリーナとしては、世界最高の性能を誇っています。
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DRY系洗浄機 
  
・有機EL素子は水分を嫌うため 洗浄方法のDRY化ニーズも高まってます。 ・表面改質、有機分残渣除去、DRYエッチング等、化学的表面洗浄を各種ご提案致します。 ・詳細につきましては、お問い合わせください。
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国産ドライアイス洗浄機(ハードタイプ) 
  
本製品は、水や洗剤を使用しない洗浄システムで、ドライアイス粒子と圧縮エアーを利用し、製品に付着した汚れを一瞬で凍結させ、脆くし除去します。ドライアイスは加工ワークに衝突すると、変形し、破砕、昇華(気化)します。その際に、発生する膨張エネルギー(750倍)により汚れを除去します。 ドライアイスは硬度..
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DRY洗浄装置 VUV-F
  
非接触片面洗浄タイプです。
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DRY洗浄装置 VUV-FⅠ
  
世界初! 0.4mmの薄板ガラス、樹脂基板の両面クリーニングに成功!! 吸着テーブル不要の両面同時クリーニングシステム
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DRY洗浄装置 TURBO-SS
  
接触タイプの洗浄装置です。
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WET洗浄装置 
  
本装置はコンベア式にて搬送を行い洗浄処理をを行う装置です。 研究用装置から大型量産装置までカスタマイズ製作できます。
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WET系洗浄装置 
  
薬液を用い洗浄・エッチング剥離を行う装置です。各種薬液に対応する設備を取扱っております。手動・全自動/枚葉・バッチ処理共にご提案できます。仕様薬液に応じカスタム設計を行います。
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常圧プラズマ表面処理装置 
  
・有機EL素子は水分を嫌うため 洗浄方法のDRY化ニーズも高まってます。・表面改質、有機分残渣除去、DRYエッチング等、化学的表面洗浄を各種ご提案いたします。 ・詳細につきましては、お問い合わせください。
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WET系洗浄機 
  
・液晶パネルの数々の実績を経て、 多種多様のニーズにお答えする洗浄方式のご提案を致します。・基板サイズ:1“パネル~大型基板 洗浄方法もユニット毎にご提案致します。 ・詳細につきましては、お問い合わせ下さい。
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