ダイトエレクトロン株式会社

近赤外対応 テレセントリックレンズ MML NIRシリーズ

  • 概要
  • 使用波長域770nm~1200nmをターゲットに専用設計した近赤外MML。

    赤外対応のカメラ・照明と組み合わせることで、ウェハー内部の欠陥や裏面のパターンを観察できる特殊用途MMLです。

  • 主な仕様
  • 型式 MML4-80D-IR MML6-80D-IR MML8-80D-IR
    同軸照明
    倍率 x4 x6 x8
    WD(mm) 82.4 81.5 81
    分解能 4μm
    被写界深度 50μm 33μm 27μm
    NA 0.15
    有効Fno 13.3 20.1 26.9
    TVディストーション 0.01
    最大適合CCD 2/3"
    質量 90g 100g 110g
    マウント C

     

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