【概要】

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本装置はφ2”〜8”までの各種ウェーハの面取りを行う装置です。
シリコンの他にも様々な材質に対応可能な面取り装置です。
既に多数の実績を持つDEPシリーズの継承機種です。
>>>カタログpdf(202KB)